KLAC 的經營報酬率圖表顯示，最新數據點為 Q3'26 季度，ROE 為 20.6%，ROA 為 7.1%，ROIC 為 9.1%，整體呈現輕微回落趨勢，其中 ROE 和 ROIC 較前一季度分別下降約 3.6 個百分點和 1.6 個百分點，ROA 則維持穩定。 從 Q4'23 至 Q3'26 的時間範圍內，ROE 整體波動上升後回落，峰值達 Q3'25 的 27.2%，顯示股東權益利用效率在中期改善但近期趨緩；ROA 呈現穩健成長格局，從 4.9% 升至 7.1%，反映資產運用效率持續優化；ROIC 則在 Q4'25 達到 12.1% 高點後回落，顯示投資資本回報率有明顯波動性，建議關注未來季度是否能重拾上升動能。