KLAC 的三率圖顯示，最新數據點為 Q3'26，毛利率為 61.1%，營業利益率為 41.2%，淨利率為 35.2%，整體維持在相對穩健的水平，反映公司盈利能力持續穩定。 從 Q4'23 至 Q3'26，毛利率整體呈現輕微上升趨勢，從 59.1% 成長至 61.1%，儘管在 Q3'24 曾短暫回落至 57.9%，但後續回升並維持在 60% 以上；營業利益率波動較大，從 36.0% 升至高峰 44.2% (Q4'25)，但 Q3'26 略降至 41.2%，顯示營運效率偶有壓力；淨利率同樣展現成長格局，從 29.1% 提升至 35.2%，中間經歷 Q2'24 的低點 23.4% 後強勁反彈，突顯公司稅後獲利能力的改善與韌性。