截至 2025 年第 3 季，ASML 的 ROS（營業利潤率）最新數據為 33.89%。這顯示公司在最近一季維持了相對穩健的獲利能力。 從 2023 年第 1 季至 2025 年第 3 季，ASML 的 ROS 整體呈現波動但略為上升的趨勢。2024 年第 1 季曾短暫下滑至 26.87%，隨後逐步回升，並於 2024 年第 4 季達到高點 36.82%。整體來看，雖然中間有明顯的下跌，但公司營業利潤率在 2025 年已恢復至 34% 以上水準，顯示經營效率逐步改善。