ASML 的三率圖顯示，最新數據點為 Q1'26 季度，毛利率達 52.98%，營業利益率為 36.02%，淨利率則為 31.44%，整體呈現穩健提升態勢，反映公司獲利能力持續強化。 從 Q2'23 至 Q1'26，毛利率整體維持在 50.8% 至 54.0% 區間內波動，呈現輕微上升趨勢，Q1'25 達到高峰 54.0% 後略有回落但最新回升；營業利益率經歷 Q1'24 的低點 26.30% 後逐步回穩，Q4'24 升至 36.22% 並在 Q1'26 進一步改善；淨利率同樣從 Q1'24 的 23.1% 低谷反彈，Q1'25 達 30.4% 高點後小幅震盪，最新值創下新高，顯示 ASML 在半導體產業的盈利效率逐步優化，無明顯下降風險。