截至 2025 年 Q4，ASML 的毛利率為 53.1%，營業利益率為 29.8%，淨利率則為 24.6%。這三項利潤指標在最新季度均較前期有所回落，特別是淨利率，從 2025 年 Q1 的高點 30.4% 下滑至目前水準。 觀察 2023 年 Q1 至 2025 年 Q4 的趨勢，毛利率整體呈現小幅波動但略為上升，於 2025 年 Q1 達到高點 54%，之後略有回落。營業利益率與淨利率則在 2024 年 Q1 出現明顯低點，隨後逐步回升，於 2025 年初達高峰，然後在 2025 年下半年再度下滑。整體而言，ASML 的獲利能力自 2024 年初低谷後恢復，但 2025 年下半年三率皆有明顯壓力，需持續關注後續發展。