ASML 在 Q1'26 的 ROE 為 13.23%，ROA 為 5.74%，ROIC 為 9.49%，顯示公司經營效率維持穩定，ROA 略有回升，而 ROE 與 ROIC 則小幅回落。 從 Q2'23 至 Q1'26，ROE 整體呈現先降後升的波動趨勢，從 18.31% 降至 Q1'24 的低點 8.87%，之後回升至 Q4'25 的 14.48%，但 Q1'26 回落至 13.23%；ROA 同樣在 Q1'24 觸底 3.13% 後逐步恢復，Q1'26 達 5.74%，反映資產利用效率改善；ROIC 趨勢類似，從 12.73% 降至 6.51% 後反彈至 Q4'25 的 11.78%，Q1'26 回落至 9.49%，整體顯示公司資本回報率在經歷低谷後逐步穩定，但仍具波動性。