截至 2025 年 Q4，ASML 的經營報酬率指標呈現下滑趨勢，其中 ROE 為 10.58%，ROA 為 4.10%，ROIC 則為 7.84%。這些數值較前幾季有所下降，顯示公司近期的資本及資產運用效率出現減弱。 觀察 2023 年 Q1 至 2025 年 Q4 的整體趨勢，三項指標均於 2023 年全年維持高檔，2024 年 Q1 出現明顯下滑，之後雖有短暫回升，但自 2025 年起再度走弱。ROE 由高點 19.98% 持續下滑至 10.58%，ROA 也從 5.56% 降至 4.10%，ROIC 則從 14.59% 下跌至 7.84%。整體來看，ASML 的經營效率自 2024 年以來呈現波動且逐步下行，需持續關注後續資本報酬能力的變化。