截至 2025 年 Q4，ASML 的研發費用達到 1.64B USD，管銷費用為 326M USD，雙雙創下觀察期間新高。這顯示公司在最新季度持續加大對技術創新與營運管理的投入。 從 2023 年 Q1 至 2025 年 Q4，研發費用呈現穩健上升趨勢，特別是在 2025 年 Q4 出現明顯跳升，單季增幅顯著；管銷費用則相對平穩，僅在 2024 年下半年後略有提升。整體而言，ASML 在過去兩年持續擴大營業費用，顯示公司積極投入未來成長與競爭力強化。