截至 2025 年第 4 季，ASML 的營運現金流量達到 11B USD，自由現金流量則為 11B USD，雙雙創下新高。這顯示公司在該季度現金流表現極為強勁，較前一季出現大幅成長。 從 2023 年第 1 季至 2025 年第 4 季，ASML 的現金流量呈現高度波動，部分季度甚至出現負值。2024 年第 1 季與 2025 年第 1、3 季均出現現金流轉負，但每年年末（第 4 季）現金流均大幅攀升，尤其 2024 年與 2025 年第 4 季的營運與自由現金流量均突破 8B USD 及 10B USD，顯示公司季節性現金流入顯著，年度尾聲現金流表現特別突出。