ASML 的現金流圖表顯示，最新資料點為 Q1'26 季度，營運現金流量為 -2.19B USD，自由現金流量為 -2.61B USD，兩者均呈現負值，反映該季度現金產生能力受壓抑，可能受資本支出或營運波動影響。 從 Q2'23 至 Q1'26 的趨勢來看，營運現金流量整體波動劇烈，先從 385M USD 增長至 Q4'23 的 3.20B USD 高點，隨後在 Q1'24 及 Q1'25 出現負值，但 Q4'24 及 Q4'25 則大幅回升至 9.54B USD 及 14.53B USD；自由現金流量同樣呈現類似模式，Q4'25 達到 14.24B USD 峰值後，在 Q1'26 急轉直下至負值，顯示公司現金流在特定季度（如年末）強勁，但首季易受季節性或投資因素拖累，整體趨勢為不穩定增長伴隨周期性衰退。