在 Q1'26，ASML 的現金及短期投資為 8.38B USD，較前一季度 Q4'25 的 13.32B USD 顯著下降約 37%，顯示短期資金流動性有所收縮；同時，債務水準維持在 2.71B USD，與 Q3'25 相近，維持低債務結構，淨現金位置仍達約 5.67B USD，反映公司財務穩健。 從 Q2'23 至 Q1'26，現金及短期投資整體呈現波動趨勢，先從 6.35B USD 降至 Q3'23 的 4.98B USD 後反彈至 Q4'23 的 7.01B USD，隨後在 Q1'24 至 Q3'25 區間維持 5B USD 至 9.09B USD 的中高位，但 Q4'24 和 Q4'25 出現高峰達 12.74B USD 及 13.32B USD，顯示季節性或營運資金累積；債務則相對穩定，多維持在 4.5B USD 左右，僅在 Q4'24 降至 3.68B USD 及 Q3'25 進一步至 2.70B USD，凸顯公司持續優化資本結構，降低槓桿風險。