截至 2025 年第 4 季，ASML 的現金及短期投資達到 13.3B USD，顯著高於同期債務的 2.7B USD。這顯示公司目前擁有充足的流動資產來覆蓋其債務，財務狀況穩健。 從 2023 年第 1 季到 2025 年第 4 季，ASML 的現金及短期投資呈現明顯波動，尤其在 2024 年底和 2025 年底分別出現大幅上升，兩次均突破 10B USD，而債務則自 2023 年以來逐步下降，2025 年下半年降至 2.7B USD 的低點。整體來看，現金水位與債務的差距持續擴大，反映公司資產負債結構逐步改善。