在 Q1'26，TSM 的營運現金流量達到 731B USD，較前一季 Q4'25 的 725B USD 略有增長，顯示營運活動持續產生強勁現金流入；自由現金流量則為 377B USD，同樣小幅上升至 377B USD，反映資本支出控制得宜，維持正向現金生成。 從 Q2'23 至 Q1'26，整體現金流呈現穩健上升趨勢，營運現金流量由 167B USD 增長至 731B USD，年均複合成長率約 28%，特別在 Q4'24 後加速擴張；自由現金流量雖在 Q2'23 出現負值 -83B USD，但自 Q3'23 起轉正並持續攀升至 377B USD，顯示公司資本效率提升，惟 Q3'25 曾短暫回落至 139B USD，之後快速反彈，凸顯現金流穩定性強。