最新的資料點為 Q1'26，ASML 的 EV/EBITDA 比率達到 127.33，顯示估值相對盈利能力顯著擴張，較前一季度 Q4'25 的 39.19 大幅上升。 從 Q2'23 至 Q1'26，ASML 的 EV/EBITDA 比率呈現波動上升趨勢，初始值約 26.82 後一度回落至 Q3'23 的 22.44，但隨後持續攀升至 Q2'24 的峰值 38.33，之後在 Q1'25 觸底 18.98，近期則急劇拉升至 127.33，此模式反映市場對公司未來成長預期的強烈轉變，伴隨明顯的波動性，可能受產業周期或外部因素影響。